潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬(wàn)級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
ic芯片潔凈車間潔凈車間生產(chǎn)工藝流程:
一、ic產(chǎn)品的制造流程
1、制造單晶硅片
ic產(chǎn)品制造流程的第一步是制造單晶硅片,因?yàn)閱尉Ч杵怯脕?lái)制造IC的,單晶硅片的制造流程主要有拉晶、切割、研磨、拋光和清洗等五個(gè)步驟。
2、設(shè)計(jì)IC
主要就是ic電路的設(shè)計(jì),把設(shè)計(jì)好的電路轉(zhuǎn)化為版圖,ic設(shè)計(jì)決定了ic產(chǎn)品的性能和穩(wěn)定性。
3、制作光罩
承接上一步,把設(shè)計(jì)好的ic電路版圖等比例縮小轉(zhuǎn)化到一塊玻璃板上。
4、制造ic
這是ic制造商需要負(fù)責(zé)的流程,指在單晶硅片上制作集成電路芯片,整個(gè)過(guò)程主要有蝕刻、氧化、擴(kuò)散和化學(xué)氣相沉積薄膜以及金屬濺鍍等。
5、測(cè)試ic
ic制作完成之后,為了確保ic的質(zhì)量,還需要進(jìn)行測(cè)試,包括功能測(cè)試和質(zhì)量測(cè)試。
6、封裝ic
封裝ic是ic制造的最后一步流程,是指晶圓點(diǎn)測(cè)后對(duì)IC進(jìn)行封裝,主要的流程有晶圓切割,固晶、打線、塑封、切筋成形等。
二、ic產(chǎn)品制造需要注意的問(wèn)題
1、產(chǎn)品的原材料的選擇
對(duì)于 IC制造商而言,影響產(chǎn)品的成材率,最關(guān)鍵的因素是產(chǎn)品原料的質(zhì)量。因此在選擇產(chǎn)品原料時(shí),一定要小心挑選,選擇那些產(chǎn)品質(zhì)量好的。在購(gòu)買原材料時(shí),為了能及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,一定要有專業(yè)人士來(lái)挑選。由于專業(yè)人員對(duì)每一道工序的控制都很嚴(yán)格,對(duì)于可能出現(xiàn)的問(wèn)題也有一定的預(yù)警,所以在對(duì)原材料的選擇上比較有經(jīng)驗(yàn)。
2、工藝流程的把控
對(duì)產(chǎn)品的原料確定后,在生產(chǎn)工藝過(guò)程中,最重要的是對(duì)工藝的控制,對(duì)于 IC制造商來(lái)說(shuō),流程需要嚴(yán)格按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行,如果出現(xiàn)了問(wèn)題,會(huì)對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生影響,導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)品不能通過(guò)檢驗(yàn)。
3、產(chǎn)品的包裝問(wèn)題
產(chǎn)品包裝對(duì)產(chǎn)品的影響相對(duì)較小,但也是一個(gè)不容忽視的環(huán)節(jié)。對(duì)于IC制造商來(lái)說(shuō),產(chǎn)品包裝需要精心設(shè)計(jì),選擇材料好、耐用的包裝。
電子潔凈車間潔凈車間建設(shè)方案簡(jiǎn)要:
電子芯片業(yè)無(wú)塵車間潔凈室:
1、潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。
2、其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。
3、芯片生產(chǎn)車間無(wú)塵室、集成電路無(wú)塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
4、電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
5、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
6、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
7、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:
8、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
9、保證供給無(wú)塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
10、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,
應(yīng)取下面三項(xiàng)最大值:
1:保證電子制造廠無(wú)塵車間潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;
2:根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵車間潔凈室的送風(fēng)量;
3:向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
詳細(xì)設(shè)計(jì)要點(diǎn)請(qǐng)聯(lián)系合潔科技半導(dǎo)體車間建設(shè)工程師
潔凈車間工程示例如下: